为（wéi）了使系（xì）统（tǒng）内不存在任（rèn）何一点易于大量（liàng）放气的（de）物（wù）质以及除去（qù）蒸气压较高的物质,必须进行彻底的处理。不同的（de）真（zhēn）空元件和不同的材（cái）料有其特殊的清洗方法，常用的真（zhēn）空元件清洗方法如下。

配制方法（fǎ）是,将重（chóng）铬酸钾加入蒸馏水（shuǐ）内,直到结晶不再（zài）溶（róng）化,即得（dé）到（dào）饱（bǎo）和溶（róng）液,量出所（suǒ）需的数（shù）量,然后（hòu）将浓（nóng）硫酸缓慢加入并不断的搅动（dòng）,即配（pèi）成洗液。使用（yòng）时温度（dù）最好（hǎo）在100～110℃,此时溶液是透明红色,用过多次失（shī）效后,溶液变（biàn）成绿色或泞污;

玻璃活栓（shuān）在使用一段（duàn）时间后,常后产生漏（lòu）气（qì）,转动困难,此时可（kě）用药棉花醮（jiào）点汽（qì）油（yóu）、三氯化乙烯或四氯化碳擦洗,除去油（yóu）脂。待溶剂完全挥发后,再涂以适当型（xíng）号（hào）的真空脂密封（fēng）。

一般小型金属零件,用有（yǒu）机溶剂去除油污,然后烘干。对金属零件及材（cái）料若（ruò）有特殊的（de）清（qīng）洁要（yào）求,则此时的清洗方（fāng）法,可按（àn）具体要求办理,总的原（yuán）则是（shì）尽量减少气（qì）源和（hé）污染源（yuán）。